河源爱发科真空泵维修-东欧真空设备公司

epx 180真空干泵

epx 系列支持清洁和轻 型半导体加工应用，如灰化/剥离和注入端点 站应用。

epx 系列以极轻、的 封装提供工具上泵送功能，河源爱发科真空泵维修，可实现异常清洁的真空。epx 泵 采用已获的单轴再生 holweck? 分级机构， 能够从---压抽空到小于 7 x 10-7torr 的---压力。

epx 泵能够以模块化组件 提供增强的性能，既可集成到制程工具，又可以远程 安装。此外，通过集成的 microtim 电子模块还可以与制程工具 轻松建立接。

泵系列

epx180l、le、n、ne

epx180 twinl、le、n、ne

epx500l、le、n、ne

爱德华真空泵维修之前首先应摸清它的底细，即该泵制造工艺情况、使用情况、原始参数数据、日前：a况、故障前的使用环境、负材状况、故隙现象婶，然后根据操作使用者的反映，以及---观察和试仙测所掌搬的资料，述立起该设备的档案卡片，记载下所了解的情况和维修简历，综合判断该泵故障原团和部位，对症---，这些故障是可以排除的

主要特性和优势

真空外壳中 不需要使用润滑剂，完全密封可---的清洁和干燥真空， 防止交叉污染

无---压到 真空的轴封可使轴承完全隔离，从而阻止制程攻击，轴承也能 以---温度运行，使用时间更长

简单的单侧 滚轴布置与---的电机和轴承设计相结合，只需低程度的 特殊工具，就能实现轻松的现场服务，因此可降低运行成本， 尽可能延长正常运行时间

改进了电机和 传动效率，可降低功耗和运行成本