




edwards e2m175/275 系列双级油封旋转叶片真空泵因其限真空、高抽取速度、运行噪音小以及能够处理水蒸汽而享有盛誉。这些直接传动旋转式叶片泵设计紧凑且无振动,配备防伤手风扇和联轴器壳体,可为操作人员提供的保护。这种泵能胜任大多数工作,并且可在其正常运行参数范围内,---处理非气体和蒸汽。
应用
真空冶金加工
薄膜覆层技术
制药冷冻干燥
冷冻和空调系统
抽空、干燥和回填
特性和优点
---性:
---且稳定的制程 - 即使是在高气体负荷下也可提供有效的润滑
稳定:
无制程污染 - 油和空气反吸保护
性能:
长期--- - 传动轴杆上安装有工业级滚柱轴承
再---:
安心 - 经过多年尝试、测试,已经成为工业标准
---且稳定 - 高真空性能
泵系列
e2m175
e2m175fx
e2m175t3
e2m275
e2m275t3
有许多消费者可能是真空泵在使用时出现了一些小故障,gxs160真空泵维修---,为了节约成本就会拿去维修,也不管找到的维修商家是否有能力修好该真空泵,只一味的注重价格。真空泵要处于通风位置或者室内装有降温装置也可以,原因也是一样的,只是为了让真空泵的散热性能---,尽可能的降低真空泵的工作温度。耗材及时更换。其中的又是:油雾分离器(排气滤芯)和油。这两种耗材一定要及时的更换。排气过滤器如果一旦出现报废或者其他问题时第yi时间更换!油出现了颜色变色、沉淀物增多、开始出现乳化等现象时不能仅仅停留在加油的保养,要全部更换真空泵油
适用于 applied materials 制程平台的 ipup
ipup2:紧凑型低能量的 180m3/h 干泵,用于晶圆加工和其他清洁工作应用。它能够 以低能耗快速抽空负载锁定舱室。
ipup2 小巧轻便,珠海gxs160真空泵维修,适用于负载锁定 和清洁应用。其低振动和低噪声级的优点使其适合于 在机台上使用或安装在工厂的夹心层中,从而有助于节省---的 工厂地面空间,同时程序地提高泵送性能。模式可在 空闲期间降低设备使用率,从而降低使用成本, 有助于保护环境。
适合在 applied materials 的制程平台上使用, 可提高处理能力,同时减少能耗。
3 万亿次循环 mtbf
与原始 ipup? 相比,速度 提高 50%,能耗降低 70%
提供适用于现有 ipup? 的 插入式替换部件
爱德华真空泵相对其他单级选片式真空泵具有更高的精度,gxs160真空泵维修,同时结构相对来讲比较复杂,所以我们在爱德华真空泵维修时需要制作精度较高的工具来对泵浦进行拆卸、安装,下面就其轴承的检修与装配跟大家交流下。
拆卸轴承应使用工具,安装时不得用锤直接敲击轴承,需敲击时必须垫以软金属。
装配轴承时,应先检查轴承、配合尺寸偏差等是否符合要求。
轴承内圈端面应与轴肩靠紧
轴承采用加热安装时,gxs160真空泵维修厂家在哪,加热可采用油浴,油温不超过100-120度,轴承油浴时间10-15min,严禁用火焰直接加热轴承
适合清洁/干燥应用的 edwards rv 泵的主要优点
的模式选择器开关意味着泵可在高流速下保持润滑
配备可选的油回收套件,可---在高流量下,油保持在泵内
的防反吸保护可避免油雾回流到制程中
通过油压来控制打开状态,从而---波动
在泵由于倾泄阀而停止运行的 0.4 秒内快速关闭
获得的模式选择器意味着该泵在高真空应用和高吞吐量应用中都适用。对于后一种应用,可以安装一个可选的油回收套件,以便让泵在高吞吐量下连续运转而不会将所有油排到排气管中。
氧化剂
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