广州爱发科真空泵维修-东莞东欧真空设备

epx 180真空干泵

epx 系列支持清洁和轻 型半导体加工应用，如灰化/剥离和注入端点 站应用。

epx 系列以极轻、的 封装提供工具上泵送功能，爱发科真空泵维修厂家在哪，可实现异常清洁的真空。epx 泵 采用已获的单轴再生 holweck? 分级机构， 能够从---压抽空到小于 7 x 10-7torr 的---压力。

epx 泵能够以模块化组件 提供增强的性能，既可集成到制程工具，爱发科真空泵维修保养，又可以远程 安装。此外，通过集成的 microtim 电子模块还可以与制程工具 轻松建立接。

泵系列

epx180l、le、n、ne

epx180 twinl、le、n、ne

epx500l、le、n、ne

应用

目标应用包括：

负载锁

计量

传输腔

灰化/剥离

pvd

主要特性和优势

占地面积小且重量轻 - 作为可用的 工具上泵之一，epx ---节省了 占地面积。铝制构造使其重量轻巧，增加了安装 选项。epx 可以直接安装到工具上，从而节省了前级管道和 安装成本，如果需要也可远程使用。  

受保护的泵机构 - epx 可以从---压抽空到 uhv 级基准压力并可在所有入口压力下连续运转。  

超清洁机构 - 传统的高真空轴承使用油脂润滑，这可能成为制程 工具中污染源。epx 泵没有高真空轴承油脂，爱发科真空泵维修---，并且不存在 任何其他的潜在污染源。  

非常--- - epx 具有大约 13 年的 mtbfp (semi e10)，通常 每 5 年维修一次，地延长了泵的 使用寿命。

运转时的噪声低至 56 db(a)，可在洁净室内实现低噪声。