汕头莱宝sc60d真空泵维修-东莞东欧真空设备

应用

目标应用包括：

负载锁

计量

传输腔

灰化/剥离

pvd

主要特性和优势

占地面积小且重量轻 - 作为可用的 工具上泵之一，epx ---节省了 占地面积。铝制构造使其重量轻巧，汕头莱宝sc60d真空泵维修，增加了安装 选项。epx 可以直接安装到工具上，从而节省了前级管道和 安装成本，如果需要也可远程使用。  

受保护的泵机构 - epx 可以从---压抽空到 uhv 级基准压力并可在所有入口压力下连续运转。  

超清洁机构 - 传统的高真空轴承使用油脂润滑，这可能成为制程 工具中污染源。epx 泵没有高真空轴承油脂，并且不存在 任何其他的潜在污染源。  

非常--- - epx 具有大约 13 年的 mtbfp (semi e10)，通常 每 5 年维修一次，地延长了泵的 使用寿命。

运转时的噪声低至 56 db(a)，莱宝sc60d真空泵维修公司，可在洁净室内实现低噪声。

真空泵维修应经带保持清洁，真空泵上不得放置其它物件，

注意皮带松紧是杏适当.---时应调整或更换，

应每年定期更换了1~3次真空泵油)。真空熔炼用的机械真空泵，每月可能换油多坎。这是由干真空泵在使用过程中，真空泵油会被灰、水分或其它脏物污染或皂、碳化，影晌真空泵的性能，因此，需要根据具体情况定期换油。

工作环境---，环境影响低：

安静运转

操作简单：

智能且易于使用控制

无污染且不需要处理油：

采用密封结构，实现了无润滑剂真空环境

低拥有 成本：

长维修间隔和低功耗

更快的制程：

---的蒸汽处理能力