普旭螺杆真空泵维修-东欧真空设备有限公司

爱德华真空泵维修始终致力于提供---的真空泵和尾气处理系统的解决方案，应用于各种行业，从实验室到需求多的半导体和工业行业，以及新兴的太阳能和生物柴---业。爱德华努力降低您的运行成本，提高您的生产效率和产成品。爱德华提供的制造品质和的技术支持服务，并通过我们的服务网络，将产品推广到全。

爱德真空泵的---真空为他们的高，快速抽气速度，安静的运作，有很强能理水蒸汽能力而。这直接驱动旋转叶片泵本身结构紧凑，无振动。

nxds 干式涡旋泵

edwards nxds 具备---的抽排能力、---的真空性能和---的设计特性，性能居同类产品。

nxds 泵在传统 xds 泵的基础上进行改进，提高了抽取速度，降低了---压力、功耗和噪音 - 噪音只有其他泵的二十分之一。气镇允许泵送冷凝性蒸汽，包括水、溶剂、稀酸和碱。nxds 泵还采用了新的端部密封技术，---延长了端部密封更换的时间间隔。具有自动电压输入感知功能的集成变频器驱动提供整体优化的泵送性能。

nxds 泵可完全进行现场维修。其智能控制功能和长达五年的维修间隔带来较低的拥有成本，使其成为应用于当今---技术的小型干泵的。

真空泵维修根据多年的维修经验来给你分析一下多级泵安装的流程及需要小心的注意事项，希望对你的安装能有所帮助。安装多级泵的流程及其注意事项：

1、将多级泵运到现场，找平顶座时不必卸下水泵和电机；

2、直接安装可煤气发生炉将顶座放在地基上，在地脚螺钉附近垫上楔形铁，将顶座垫下约20~40mm，真空泵作校平先填充 水泥浆之用；

3、用水真空泵平仪检查多级泵顶座的水平度，找平先用水泥浆填充顶座，待水泥浆做先再检查一下水平度；

应用

半导体的目标应用包括：

pecvd

高 k

低 k

sacvd

lpcvd

ald

epi

fpd 的目标应用包括：

pecvd

tco

刻蚀

传输腔

主要特性和优势

针对---的 epi 和太阳能制程大幅提高了氢气抽取速度。

大容量干泵和 增压泵提供扩展的制程窗口以提高产量。

占地面积更小，普旭螺杆真空泵维修，高度---，便于在任何工厂中安装。

符合主要的，包括 ul、ce 和 s2。可以---地使用或省略不用。