阳江爱发科真空泵维修-东欧真空设备公司

epx 180真空干泵

epx 系列支持清洁和轻 型半导体加工应用，如灰化/剥离和注入端点 站应用。

epx 系列以极轻、的 封装提供工具上泵送功能，可实现异常清洁的真空。epx 泵 采用已获的单轴再生 holweck? 分级机构， 能够从---压抽空到小于 7 x 10-7torr 的---压力。

epx 泵能够以模块化组件 提供增强的性能，既可集成到制程工具，又可以远程 安装。此外，通过集成的 microtim 电子模块还可以与制程工具 轻松建立接。

泵系列

epx180l、le、n、ne

epx180 twinl、le、n、ne

epx500l、le、n、ne

一般干式真空泵的同步齿轮，在装配需要满---上外，有些干式真空泵还有一些特殊的要求，比如说爱德华罗茨真空泵，它的两个转子互为共扼的型线架构，同时转子之间也是不相互接触的，因此它的所以动力来源都是这双同步齿轮的带动。

因此，爱发科真空泵维修选，---转子的精度啮合外，齿轮精度啮合一样重要，这对我们真空泵维修以及新泵组装带来一定难度。这就要求我们在把转子啮合装配好后，应当把具体的位置先固定下来，爱发科真空泵维修多少钱，在装配时h加以标识，这样才能更为准备清晰的把螺钉锁紧以及---定位销的安装---，只有这样才能---齿轮之间，转子之间的啮合的精度，不然会因为齿轮以及转子间隙的不平衡导致泵浦异常运作。

技术

edwards 的 stokes microvac 泵是一款 独立的油封滑阀泵，其低转速、大间隙的设计 可实现更长的使用寿命。一种新的密封阀设计， 改进了 o 形圈密封区域，全封闭的风冷却式电机--- 噪音---、耗电更少，并且为客户延长了维修时间间隔。较低 转速可减少活塞和滑动部件的损耗，从而延长 使用寿命，并增强处理微粒应用的能力。

一体化的 油分配系统不再需要外部管道， 通过的设计实现无泄漏运行。泵活塞通过一个偏心件安装在主传动轴上， 并通过两个自由摆动的铰接杆 进行支撑。活塞旋转时，空气通过活塞滑块进入泵内。当 活塞达到顶部中央位置时，进气口关闭， 捕获的空气随后被压缩，并随着活塞的继续旋转通过排气阀排放， 然后从舱室的排气出口排出。

应用

性能可以说明一切。stokes microvac 一直受到诸多加工应用的---，包括要求 严苛的重型应用。  

汽车

涂层

化学加工

一般应用

热处理

泄漏检测

冶金

熔炼

pet 加工

制药

变压器 干燥

请联系 edwards，探讨 如何利用我们种类丰富的真空解决方案满足您的需求、提高生产效率以及 减少成本。