爱发科真空泵维修-东欧真空设备有限公司-爱发科真空泵维修保养

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igx 干泵真空系统

igx 干式真空泵系列为 大修之间零维护现代干泵树立了新标准；这 使其成为了上受欢迎的干泵之一，爱发科真空泵维修，目前已在大多数 的 300mm 工厂中安装了 20，000 套以上。 igx 系列包括 microtim 工具 接口和以太网连接，允许通过网页查看 主要数据，同时包括一套的网络选项， 可---泵持续运转。

igx 泵的峰值速度范围 很宽，并可以改变以适合各种应用条件，包括从清洁 到中等负载制程。模块化设计允许用户对 igx 干泵 进行配置以适合各个工厂的要求。紧凑的占地面积允许使用多种安装 选项，包括工具上、近程和远程操作。

通过使用 igx 干泵技术， 整个工厂通常可以在设施成本方面实现 40%* 的节省 （与 il/ih 干泵相比）。  

基于包含 200 个工具、537 台泵/70% igx 泵、30% ih 泵/ igx 配有恒流水阀的 300mm 美国工厂。