es100真空泵维修中心-东莞东欧真空设备公司

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    2023-10-22

饶钦辉
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应用

目标应用包括:

负载锁

计量

传输腔

灰化/剥离

pvd

主要特性和优势

占地面积小且重量轻 - 作为可用的 工具上泵之一,epx ---节省了 占地面积。铝制构造使其重量轻巧,增加了安装 选项。epx 可以直接安装到工具上,从而节省了前级管道和 安装成本,如果需要也可远程使用。  

受保护的泵机构 - epx 可以从---压抽空到 uhv 级基准压力并可在所有入口压力下连续运转。  

超清洁机构 - 传统的高真空轴承使用油脂润滑,这可能成为制程 工具中污染源。epx 泵没有高真空轴承油脂,并且不存在 任何其他的潜在污染源。  

非常--- - epx 具有大约 13 年的 mtbfp (semi e10),通常 每 5 年维修一次,地延长了泵的 使用寿命。

运转时的噪声低至 56 db(a),es100真空泵维修保养,可在洁净室内实现低噪声。






真空泵维修真空泵常规问题修复,就是指在真空泵出现问题后的处理方法。维修问题分为很多,es100真空泵维修,一般未达到报废情况都可以进行修复。既然是的进行修复就不仅仅是简单的拆开、更换耗材再组装起来。真空泵有很多狠心的维修技术,其中主要的就是间隙的调整。不管是真空泵叶片卡死、缸体磨损、真空泵真空度不足、噪音异常都属于一般真空泵维修。如果真空泵出现缸体爆裂、或者其他比较---的问题时,es100真空泵维修中心,就得依据损害配件来确定是否可进行维修







泵系列

es 系列有五种选配型来满足不同要求。 它们可以单独使用,也可以与 eh 系列机械增压泵 (提供从 eh250 到 eh4200 的选配型)配合使用,以便同时提和 ---真空。

es65

es100

es200

es300

es630

泵附件

提供一系列附件以 便于控制 es 泵



油位开关

用于远程监控 油位,以防对泵造成潜在损坏。单独提供或 与 pt100 或 120?c 传感器配合提供。

温度 传感器

用于监控油温的 pt100 和 120?c 温度传感器。

入口 过滤器/入口承接罐

入口过滤器可阻止碎屑进入泵机构,因而可用于大限度地 延长正常运行时间。入口承接罐可保护泵不受大量可冷凝蒸汽 的损害。




爱德华真空泵维修:真空容积,检查确定达到要求的真空度所需要的时间、真空管道的流阻与泄漏。考虑达到要求真空度后在一定工艺要求条件下维持真空需要的抽气速率。





泵系列

edwards 获得的螺旋转子设计 针对高可用性而设计,它提供的抽取速度,并且是---的热 管理系统的一部分,可以程度地提高泵性能并延长密封、轴承和 电机的使用寿命,以---泵具有长的使用寿命。

gxs160

gxs160/1750

gxs250

gxs250/2600

gxs450

gxs450/2600

gxs450/4200

gxs750

gxs750/2600

gxs750/4200




es100真空泵维修中心-东莞东欧真空设备公司由东莞东欧真空设备有限公司提供。东莞东欧真空设备有限公司在真空泵这一领域倾注了诸多的热忱和热情,东欧真空一直以客户为中心、为客户创造价值的理念、以品质、服务来赢得市场,衷心希望能与社会各界合作,共创成功,共创。相关业务欢迎垂询,联系人:饶钦辉。



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