edwards e2m175/275 系列双级油封旋转叶片真空泵因其限真空、高抽取速度、运行噪音小以及能够处理水蒸汽而享有盛誉。这些直接传动旋转式叶片泵设计紧凑且无振动，配备防伤手风扇和联轴器壳体，es630真空泵维修---，可为操作人员提供的保护。这种泵能胜任大多数工作，并且可在其正常运行参数范围内，---处理非气体和蒸汽。
应用
真空冶金加工
薄膜覆层技术
制药冷冻干燥
冷冻和空调系统
抽空、干燥和回填
特性和优点
---性：
---且稳定的制程 - 即使是在高气体负荷下也可提供有效的润滑
稳定：
无制程污染 - 油和空气反吸保护
性能：
长期--- - 传动轴杆上安装有工业级滚柱轴承
再---：
安心 - 经过多年尝试、测试，已经成为工业标准
---且稳定 - 高真空性能
泵系列
e2m175
e2m175fx
e2m175t3
e2m275
e2m275t3
应用
目标应用包括：
负载锁
计量
传输腔
灰化/剥离
pvd
主要特性和优势
占地面积小且重量轻 - 作为可用的 工具上泵之一，epx ---节省了 占地面积。铝制构造使其重量轻巧，es630真空泵维修，增加了安装 选项。epx 可以直接安装到工具上，es630真空泵维修多少钱，从而节省了前级管道和 安装成本，如果需要也可远程使用。
受保护的泵机构 - epx 可以从---压抽空到 uhv 级基准压力并可在所有入口压力下连续运转。
超清洁机构 - 传统的高真空轴承使用油脂润滑，es630真空泵维修，这可能成为制程 工具中污染源。epx 泵没有高真空轴承油脂，并且不存在 任何其他的潜在污染源。
非常--- - epx 具有大约 13 年的 mtbfp (semi e10)，通常 每 5 年维修一次，地延长了泵的 使用寿命。
运转时的噪声低至 56 db(a)，可在洁净室内实现低噪声。
室内 真空
消毒
等离子体 清洗/灭菌
油/树脂 脱气
食品 加工
泄漏 检测
低温 空间
泄漏 检测
真空 绝缘面板
真空 绝缘玻璃
气瓶填充
主要特性和优势
适用于更广泛的工业应用，具有---的 水蒸汽处理能力
用户可进行现场维修 - 更高的生产效率
更换油和过滤器十分方便 - 易于维护
比大多数类似的单级旋转式叶片泵更安静
的油排放并且十分
内置 iso 和 bsp 连接 – 易于集成
eh 增压泵拥有全套组装包 – 适合多种 性能要求，简单方便
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