爱发科真空泵维修-东欧真空设备有限公司-爱发科真空泵维修公司

爱德华真空泵是属于油封旋片式机械真空泵， 日常维护检查的内容为观察泵油颜色， 查看油位， 检查进、出气口的过滤器。真空泵的常见故障是漏油、不能达到---真空度和不能启动。判定故障后， 维修方法是更换老化的密封部件， 添加和更换新油、清洗油路、更换老化的配油器、旋片和弹簧，爱发科真空泵维修， 更换损坏的电源器件和电机线圈等。后给出真空泵的性能改造位置和方法。

适合“多尘”应用的 edwards rv 泵的主要优点

的防反吸保护可避免灰尘回流到制程中

通过油压来控制打开状态，从而---波动

在泵由于倾泄阀而停止运行的 0.4 秒内快速关闭

大直径油路 (3-5mm) 可避免堵塞

一些竞争---的泵的油路直径不足 1mm

edwards 的 rv 泵系列利用半导体行业的 pvd 和 cvd 应用经验而设计，适用于多尘应用。

清洁/干燥

爱德华真空泵维修：真空容积

检查确定达到要求的真空度所需要的时间、真空管道的流阻与泄漏。考虑达到要求真空度后在一定工艺要求条件下维持真空需要的抽气速率。真空泵工作2000小时后应进行检修，爱德华真空泵维修的方法。检查橡胶密封件老化程度，检查排气阀片是否开裂，爱发科真空泵维修公司，清理沉淀在阀片及排气阀座上的污物。清洗整个真空泵腔内的零件，如转子、旋片、弹簧等。一般用清洗，并烘干。对橡胶件类清洗后用干布擦干即可。清洗装配时应轻拿轻放小心碰伤。

爱德华真空泵是属于油封旋片式机械真空泵， 日常维护检查的内容为观察泵油颜色，爱发科真空泵维修加工， 查看油位， 检查进、出气口的过滤器。判定故障后， 维修方法是更换老化的密封部件， 添加和更换新油、清洗油路、更换老化的配油器、旋片和弹簧， 更换损坏的电源器件和电机线圈等。后给出真空泵的性能改造位置和方法。