茂名爱发科真空泵维修-东欧真空设备公司

epx 180真空干泵

epx 系列支持清洁和轻 型半导体加工应用，如灰化/剥离和注入端点 站应用。

epx 系列以极轻、的 封装提供工具上泵送功能，可实现异常清洁的真空。epx 泵 采用已获的单轴再生 holweck? 分级机构， 能够从---压抽空到小于 7 x 10-7torr 的---压力。

epx 泵能够以模块化组件 提供增强的性能，既可集成到制程工具，又可以远程 安装。此外，通过集成的 microtim 电子模块还可以与制程工具 轻松建立接。

泵系列

epx180l、le、n、ne

epx180 twinl、le、n、ne

epx500l、le、n、ne

真空泵维修的结构特征以及零部件磨损规律，通常采用以下两类典型的维修方式。

1、事后维修

它是指机械设备发生故障后才进行的维修。它包括查找故障部位、进行修复或更换零部件、调整、验收等一系列技术活动，是一种古老的维修方式，仅适用于安全性、---性要求不高的情况。

2、预防维修

预防维修是指机械未发生停机故障或损失之前所进行的维修。随着设备或系统结构的日趋复杂，爱发科真空泵维修中心，以及因发生故障所造成的---日益增大，那种只通过事后维修的方法越来越满足不了需要，采用预防维修是不可缺少的。

的舱室抽空时间可减少 总体平均循环时间 (tact)

仅仅 0.55kw 的功耗 有助于减少客户拥有成本

模式可以在空闲 期间多减少 92% 的功耗

35oc 的水 供给有助于降低设备冷却水要求

且极轻， 有助于节省---的工厂空间

适用于严苛应用的大型 ixl 干泵

ixl1000：紧凑型低能量的干 泵，适用于轻负载应用。它提供快速舱室抽空和 极低的功耗。可用于轻负载应用（如晶圆加工、pvd 和 计量）的且安静的泵之一。此产品 在高度成功的 ixl120 泵的基础上构建，具有高抽取速度和 低能耗特性。通过模式可在空闲期间降低设备 使用率，从而降低成本并帮助保护环境。