sc30d真空泵维修-东莞东欧真空设备公司

epx 180真空干泵

epx 系列支持清洁和轻 型半导体加工应用，如灰化/剥离和注入端点 站应用。

epx 系列以极轻、的 封装提供工具上泵送功能，可实现异常清洁的真空。epx 泵 采用已获的单轴再生 holweck? 分级机构，sc30d真空泵维修厂， 能够从---压抽空到小于 7 x 10-7torr 的---压力。

epx 泵能够以模块化组件 提供增强的性能，既可集成到制程工具，sc30d真空泵维修加工，又可以远程 安装。此外，通过集成的 microtim 电子模块还可以与制程工具 轻松建立接。

泵系列

epx180l、le、n、ne

epx180 twinl、le、n、ne

epx500l、le、n、ne

em 系列大中型旋转式叶片油封式真空泵

em 系列泵是结实---的机械油封泵，抽速为 0.7 到 275 m3/hr（30 到 206 cfm）。这些泵结构紧凑，使用时非常安静，具备的润滑回路，---性高，配有各种附件，可以满足特定的应用需求。

e2m40 与 e2m80

edwards e2m 系列双级油封旋转叶片真空泵因其限真空、高抽取速度、运行噪音小以及能够处理水蒸汽而享有盛誉。这些直接传动旋转式叶片泵设计紧凑且无振动，配备防伤手风扇和联轴器壳体，可为操作人员提供的保护。