epx 180真空干泵
epx 系列支持清洁和轻 型半导体加工应用，如灰化/剥离和注入端点 站应用。
epx 系列以极轻、的 封装提供工具上泵送功能，可实现异常清洁的真空。epx 泵 采用已获的单轴再生 holweck? 分级机构， 能够从---压抽空到小于 7 x 10-7torr 的---压力。
epx 泵能够以模块化组件 提供增强的性能，既可集成到制程工具，又可以远程 安装。此外，通过集成的 microtim 电子模块还可以与制程工具 轻松建立接。
泵系列
epx180l、le、n、ne
epx180 twinl、le、n、ne
epx500l、le、n、ne
爱德华真空泵是属于油封旋片式机械真空泵， 日常维护检查的内容为观察泵油颜色，爱发科真空泵维修价格， 查看油位，爱发科真空泵维修工厂， 检查进、出气口的过滤器。真空泵的常见故障是漏油、不能达到---真空度和不能启动。
经常检查油位位置，不符合规定时须调整使之符合要求。以真空泵运转时，油位到油标中心为准。 经常检查油质情况，爱发科真空泵维修报价，发现油变质应及时更换新油，---真空泵工作正常。换油期限按实际使用条件和能否满足性能要求等情况考虑，爱发科真空泵维修，由用户酌情决定。
特性和优点
该泵设计合理，可进行---的长期运行
热过载设备可防止过热（仅用于单相型号）
传动由一个单相或三相（四极）电机通过活动联结器提供
电机是全封闭的，通过电机冷却风扇进行冷却
通过全高度 o 形圈密封的油品目视镜可方便地检查油位和相关情况
大尺寸目视镜和宽的工作油范围
泵系列
e2m40
e2m40fx
e2m40t4
e2m80
e2m80fx
e2m80t4
e2m175
e2m175fx
e2m175t3
e2m275
e2m275t3
e2m175 与 e2m275
爱发科真空泵维修-东莞东欧真空设备-爱发科真空泵维修价格由东莞东欧真空设备有限公司提供。东莞东欧真空设备有限公司位于广东省寮步镇翠香中路6号。在市场经济的浪潮中拼博和发展，目前东欧真空在真空泵中享有---的声誉。东欧真空取得---商盟，标志着我们的服务和管理水平达到了一个新的高度。东欧真空全体员工愿与各界有识之士共同发展，共创美好未来。
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